Numerische Modellierung eines LPPS-Brenners zurphysikalischen Gasphasenabscheidung mittelsPlasmaspritzen
Wissenschaftlicher Fachbeitrag
Autoren: Dr. Malko Gindrat, M. Eng. Reto Wäger, Dr.-Ing. Georg Mauer, M. Sc. Wenting He
Die physikalische Gasphasenabscheidung mittels Plasmaspritzen (PS-PVD) ist ein Plasmaspritzprozess bei dem der Ausgangswerkstoff in den Plasmabrenner eingedüst und dabei teilweise oder vollständig verdampft wird. Die Gasphase des Beschichtungswerkstoffs wird im Plasmastrahl zum Substrat befördert und bildet dabei Beschichtungen mit vertikal kolumnarer Struktur.
Seiten: 148 - 156
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